2025-11-28
半導體潔凈室設計需嚴格遵循國際半導體設備與材料協會標準及《電子工業潔凈廠房設計規范》。設計過程應基于風險管理理念,統籌考慮工藝需求、環境控制、運行安全等要素。潔凈室等級需根據工藝要求確定,通常核心區域要求ISO 3-5級,溫濕度控制精度需達到±0.1℃和±1%RH。
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